1、尺寸：8英寸圓片，向下兼容6、4、2英寸

2、產(chǎn)量：1~ 60 片/批

3、工藝類型：可滿足干氧氧化、濕氧氧化、氫氧合成氧化、擴散等

4、溫度控制范圍：700℃～1250℃

5、溫控區(qū)長度：600 mm～800mm

6、溫控精度：≤±0.5℃（700℃～1250℃）

7、單點溫度穩(wěn)定性：≤±0.5℃/24h（1100℃）；

8、爐體升降溫速率：最大升溫速率15℃/分鐘；

9、氣體管路：流量計控制工藝氣體流量，保護氣體由浮子流量計控制；

10、推舟方式：全自動送舟機構(gòu)；

11、舟數(shù)量：3個；

12、保護功能：具有超溫、斷偶、熱偶短路、氣體流量偏差報警和保護功能；

13、工藝控制：工藝過程由工控計算機全自動控制，存儲不少于 100條工藝曲線；

14、電源：380VAC/50Hz，120KW；

15、重量：3500Kg；

16、機器外形尺寸：W5000mm×H2300mm×D1300mm。