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- 集成電路及微電子制造
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微納電路激光成型機(jī)uLCM150
產(chǎn)品型號:uLCM150
微納電路激光成型機(jī)
- 詳細(xì)內(nèi)容
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1、適用晶圓尺寸:8吋及以下;
2、對準(zhǔn)及套刻精度:±500nm;
3、直寫速度(mm2/min):≥40@1μm;
4、光刻光源波長:405nm;
5、光刻光源功率:960mW;
6、數(shù)據(jù)格式:GDSII、BMP、DXF;
7、曝光模式:步進(jìn)式曝光、灰度曝光 、激光拖曳曝光;
8、線性位移電機(jī)步進(jìn)精度:≤100nm;
9、運(yùn)動(dòng)軸:配備 X、Y、Z 三維直流線性位移電機(jī),運(yùn)動(dòng)平臺具有X/Y/θ方向;
10、電源:AC220V/50Hz,800W;
11、機(jī)器重量:750kg;
12、機(jī)器外形尺寸:D1140mm×W780mm×H1812mm。
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