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  • 微納電路激光成型機(jī)uLCM150 產(chǎn)品型號:uLCM150
    微納電路激光成型機(jī)
詳細(xì)內(nèi)容

1、適用晶圓尺寸:8吋及以下;

2、對準(zhǔn)及套刻精度:±500nm;

3、直寫速度(mm2/min):≥40@1μm;

4、光刻光源波長:405nm;

5、光刻光源功率:960mW;

6、數(shù)據(jù)格式:GDSII、BMP、DXF;

7、曝光模式:步進(jìn)式曝光、灰度曝光 、激光拖曳曝光;

8、線性位移電機(jī)步進(jìn)精度:≤100nm;

9、運(yùn)動(dòng)軸:配備 X、Y、Z 三維直流線性位移電機(jī),運(yùn)動(dòng)平臺具有X/Y/θ方向;

10、電源:AC220V/50Hz,800W;

11、機(jī)器重量:750kg;

12、機(jī)器外形尺寸:D1140mm×W780mm×H1812mm。

  • 關(guān)于我們 企業(yè)簡介 企業(yè)文化 戰(zhàn)略合作 人才培養(yǎng)
  • 解決方案 工業(yè)機(jī)器人實(shí)訓(xùn)基地方案 創(chuàng)客教育與創(chuàng)客空間方案 電子工藝實(shí)訓(xùn)基地方案無人機(jī)技術(shù)實(shí)訓(xùn)基地方案
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